厚さ測定

厚さ測定のためには，金属基板上の膜厚の測定と金属板の厚さの測定の2つの主な応用がある。非磁性金属上の絶縁層の厚さの測定は渦電流厚さ測定の重要な応用分野である。非磁性金属は導電性の高い非鉄金属であるので、表面絶縁層の厚さを測定することは、プローブコイルから母材までの距離を本質的に測定することである。測定結果に対する母材の導電率の変化の影響を抑制するためには、一般に、より高い検出周波数が選択される。このとき、インダクタンス成分に対するマトリックス伝導度の影響は無視でき、抵抗成分への影響は依然として重要である。また、インダクタンス成分は主に距離の変化に影響される。抵抗成分は主に導電率の変化の影響を受ける。したがって、回路からプローブインピーダンス変化信号のインダクタンスを取り出し、ゼロ調整や補正を行う限り、絶縁層の厚さの変化を測定することができる。磁性金属表面が非磁性金属または絶縁層（例えば、鋼層上のクロム層や塗料層）で覆われている場合には、電磁誘導法によって厚さを測定することができる。コイルを励磁電流が通過すると、検出コイルと磁気基板との間に磁路が形成され、コイルと磁気基板とのギャップの変化（すなわち、非磁性膜層の厚さの影響）が磁気回路の磁気カソードを変化させ、その原因となる磁気回路における磁束の変化従って、コイルの誘起電圧を測定することにより、誘起電圧とギャップ（Ie、膜厚）との定量的関係が得られ、指示器のダイヤルにマークされた後、指標層から膜厚が直接読み出される。渦電流法によって薄板の厚さを測定する場合、検出コイルは反射法、透過法のいずれでもよい。反射法は、プローブの送受信コイルが被測定体と同じ側にあり、受信信号がインピーダンス振幅変化の信号であり、材料の厚さの変化が受信コイルのインピーダンス変化と非線形関係を持つことである。したがって、測定器内部で非線形補正を行う必要があり、大きな測定差が生じる。透過法はプローブ線により発生する渦電流場の分布，すなわち渦電流の位相遅れは深さの深さと共に増加し，受信信号と励起信号の位相差により直接測定された材料の厚さが得られる。非線形補正を実行しない。